應用場景:應用于光伏鈣鈦礦電池工藝開發(fā)
產品特點
– 兼容玻璃和wafer蒸鍍
– Inline Type
– 標準化
– 模塊化
– 成膜均勻性高
– 膜厚穩(wěn)定性高
– 速率穩(wěn)定性高
核心技術
– 蒸鍍模擬技術
– 定制化產品,可配置點源或電子束
– 具備Auto PID,蒸鍍穩(wěn)定,成膜均勻
– log分析技術
– 產品成熟,運營穩(wěn)定
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