9月7日,合肥欣奕華智能機器股份有限公司(下稱“合肥欣奕華”)完成新一臺大尺寸GW級RPD(反應式等離子體沉積鍍膜)設備量產(chǎn)交付。至此,合肥欣奕華近期已陸續(xù)向鈣鈦礦兩個龍頭客戶完成GW級鈣鈦礦RPD設備量產(chǎn)交付。
RPD設備是合肥欣奕華繼鈣鈦礦蒸鍍機之后,推出的又一款大面積鈣鈦礦真空成膜核心工藝設備,其優(yōu)勢在于可以減少對鈣鈦礦電池的轟擊損害,有利于提高轉換效率和良率。由于其制備膜層透光率高、沉積速率快、轉換效率高,已逐漸成為大面積鈣鈦礦量產(chǎn)的重要選擇。
合肥欣奕華此次出貨的大尺寸GW級RPD設備主要用于鈣鈦礦光伏電池功能層和透明導電膜層制備,可實現(xiàn)高能量粒子對基板零損傷,具有工藝溫度低,電阻性能優(yōu)異、透過率優(yōu)良等特性,其膜厚均一性、膜厚重復性等關鍵技術指標均達到國際先進水平。
合肥欣奕華通過不斷創(chuàng)新,致力于推動鈣鈦礦產(chǎn)業(yè)化快速發(fā)展,可向行業(yè)用戶提供尺寸覆蓋300mm*300mm至1200mm*2400mm的全系列鈣鈦礦RPD設備和蒸鍍設備,助力我國第三代光伏技術實現(xiàn)高速向前發(fā)展。